Unabhängige Gegenprüfung in einer Halbleiterfabrik

Laufendes Projekt: Im Auftrag des Generalunternehmers prüfen wir in einer Halbleiterfabrik in Sachsen die Prüf- und Qualifizierungsarbeiten an der Spezialgasversorgung unabhängig nach – als fachliche Kontrollinstanz für die Freigabe vor der Erstbeaufschlagung. Umfang: 44 Gasversorgungssysteme mit über 500 Prüfabschnitten, darunter korrosive, toxische und brennbare Gase wie HF, HCl, Cl₂, HBr, NH₃, NF₃, WF₆, SiH₄, PH₃, B₂H₆ und F₂-Gemische sowie Reinstgase N₂ und H₂. Leistungen: Prüfung von Prüfplanung, Prüfgrenzen und Prüfverfahren; Abgleich der Prüfreihenfolge mit dem Leistungsverzeichnis (Spülen, Drucktest, Heliumlecktest, Spülen, Partikel- und Restfeuchtemessung); Bewertung der Prüfprotokolle und Nachweisdokumentation; Erstellung einer Verantwortlichkeits- und Risikomatrix für alle Beteiligten; fachliche Unterstützung bei der Freigabeentscheidung.