Halbleiterindustrie
In der Halbleiterfertigung entscheiden Dichtheit und Reinheit der Gasversorgung über Ausbeute und Sicherheit. Wir prüfen Spezialgasversorgungen – auch für korrosive, toxische und pyrophore Gase wie HF, HCl, Cl₂, NH₃, NF₃, WF₆ und SiH₄ – vor der Erstbeaufschlagung und im laufenden Betrieb.
Typische Aufgaben
Druck- und Druckhalteprüfung von Gasversorgungen, Verteilleitungen und Gaspanels.
Helium-Lecktest im Vakuum- oder Schnüffelverfahren.
Partikel-, Feuchte- und Restsauerstoffmessung als Reinheitsnachweis vor der Erstbeaufschlagung.
Unabhängige Gegenprüfung bereits geprüfter Anlagen und Prüfdokumentationen.
Gasersatzversorgungen für Prüfungen und Umbauten im laufenden Betrieb.
Ihr Nutzen
Eine dokumentierte Freigabegrundlage für jede Gasleitung – und eine unabhängige Zweitmeinung, wenn es darauf ankommt.
