Partikel-, Feuchte- und Restsauerstoffmessung

Schon kleinste Reste von Partikeln, Feuchte oder Sauerstoff können zu Produktionsfehlern und Stillständen führen. Wir messen Partikel in Gasen ab 0,1 µm, in Reinstwasser und Chemikalien ab 50 nm, sowie Restfeuchte und Restsauerstoff mit Empfindlichkeiten bis unter 1 ppb.

So läuft die Messung ab

1. Vorbereitung: Abstimmung der Reinheitskriterien aus Ihrer Spezifikation.

2. Spülung: mehrstündige Spülung des Systems mit Stickstoff oder Argon.

3. Messung: Anschluss des Messgeräts am entferntesten Punkt des Systems, Aufzeichnung meist über 30 Minuten.

4. Bewertung: Abgleich mit den geforderten Grenzwerten.

5. Abschluss: System drucklos oder unter Inertgas, Versiegelung und Übergabe.